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電子束蒸發鍍膜機

電子束蒸發鍍膜機

產品詳情

ebeam - 副本

v 功能特點

ü 矩形SS316L電拋光，內腔屏蔽

ü 本底真空5E-7Torr或5E-10Torr

ü UHV真空泵和真空計

ü 6 x 3寸行星樣品操作臺（公、自轉）

ü 石英紅外線燈，樣品加熱溫度300°C

ü 多個坩堝電子束蒸發源

ü 膜厚監測儀

ü FBBeam系統控制軟件

Left

離子束刻蝕機

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激光直寫光刻機

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約瑟夫森結鍍膜機

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團簇式沉積設備

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原子層沉積設備

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Right

詢盤

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