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團簇式沉積設備

團簇式沉積設備

產品詳情

v CLUSTER團簇式系統描述

多功能CLUSTER團簇式系統等，支持8個工位子系統，全自動傳輸樣品。

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超高真空磁控濺射鍍膜機

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反應離子刻蝕機

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電子束蒸發鍍膜機

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蒸銦設備

激光直寫光刻機

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